警報內容故障分析和故障排除方法CO2SupplyLow，HeSupplyLow，N2SupplyLow，AirSupplyLow對應的低氣壓更換相應的氣體Compressoroverload，CompressorTempHigh渦輪過載，渦輪溫度高確定環境溫度是否符合要求，斷電后檢查渦輪狀況，停電后，CompressorFault渦輪故障通常會啟動激光器。所有警報都會出現，并且高壓警報會在操作完成后自動取消。真空泵過載真空泵油位，油質的過載檢查系統壓力系統電壓檢查外部電壓穩定性ShutterFault，ShutterH2OFlow百葉窗故障警報，百葉窗水流警報檢查激光機械百葉窗和冷卻水狀況H2OFlowLow警報檢查冷水機出口壓力，水箱水量逆變器故障逆變器故障觸點PRCInterlock開門警報激光門未關閉，重新檢查OilTempHigh，H2OTempHigh油溫高水溫高停機檢查真空泵機油檢查冷水機EnclosureTempHigh環境溫度高打開空調并降低溫度。 HVSupplyFault高壓故障重新啟動，請聯系Han放電故障。聯系韓溢